透过多层防尘玻璃与黄光，隐约能看见最下方那片直径近半米的自由曲面主镜。

「自由曲面镜的面型数据，最近一次计量结果是多少？」

陈延森问得极为细致。

一旁的林南连忙补充：「老板，六片自由曲面镜的最新面型RMS，光滑度均控制在28

到31皮米之间。」

再往上，是锡等离子体光源腔。

腔体外壁密布着高压氙气放电管与辅助磁约束线圈，透过观察窗，仍能看见内部残留的一圈圈幽蓝辉光。

「光源的Collector镜组，有没有出现镀膜剥落？」

「老梁，辛苦了！有你帮我守着星源科技，我很放心，A3X的稳定性比我预想的还要出色。」

陈延森拍了拍梁劲松的肩膀。

照这个势头，五年之内，破晓A3X的工艺制程和生产效率都不会落後。

「老板，主要还是您打下的基础好。」

梁劲松笑着回道。

一进主工艺间，整片区域便被昏黄的灯光所笼罩，这是EUV光刻机专用的黄光环境，避免常规白光对光刻胶造成非预期曝光。

大厅正中，三台破晓A3XEUV光刻机一字排开。

它的机身比上一代A220更高、更长，主体采用深灰与哑光黑的撞色设计，表面几乎看不到外露的管线与接头。

哪怕设备只移动一米，都必须提前报备，否则系统会直接远程锁机。

在光刻机领域，星源科技但凡轻咳一声，全球所有晶圆厂都得跟着震一震。

「老板，这就是一号机。」

陈延森蹲下身，凑近观察。

法兰连接处没有一丝油污，金属表面光洁度极高，边缘的He—Ne雷射对准标记清晰可见，说明对中精度没有发生丝毫漂移。

谁说华国工程师造不出高端光刻机？

只要领进门，就没有学不会的道理。

破晓A3X的研发工作，主力完全是星源科技自己的团队，极少藉助外部力量。

机器顶部的环形散热带微微发亮，内部的冷却液正在持续循环，从而带走光源工作时产生的巨大热量。

陈延森在三米外站定，望着机身表面印刷的两个字，不由地怔怔出神。

三年前，全球九成以上光刻机的外壳上都印着「ASML」的品牌名，如今则全都换成了「破晓」。

这份从追赶至超越的滋味，恐怕只有深耕半导体行业的人，才能真正体会到。

这几年，星源科技的工程师拿着高额出差补贴，奔赴欧美各地，为破晓光刻机安装调试、提供售後，也算亲身体验了一把当年欧美工程师的待遇。

表面上看，破晓A3X的性能突破极大，但底层技术框架，依旧是破晓A220的那一套。

没有陈延森先前奠定的根基，就不可能有今天的破

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梁劲松上前半步，指着面前的设备说道：「上周五完成了最後一次全系统自检，各子系统均绿灯通过，目前已累计运行时长超120小时，无任何故障提示。」

陈延森微微点头，目光落在设备底座的减震平台上。

底座采用特制花岗岩与碳纤维复合结构，平台边缘镶嵌着一圈细密的雷射干涉仪，可实时监测整机姿态，精度达到亚纳米级。

陈延森嗯了一声，继续向前。

他绕到机器侧面，在投影物镜模组的观察窗前停下。

这里是整台设备最核心、也最昂贵的部分，由十七片镜片组成的8倍降幅投影系统。

陈延森忽然开口问道。

梁劲松立即答道：「没有！我们将第四代Collector镜的钼矽多层膜厚度优化到了68.4纳米，驻波效应抑制效果大幅提升。

上一批连续轰击测试中，累计辐照剂量达到设计寿命的1.8倍，膜层反射率衰减仅有0.7%。"

第1012章 我吃的就是兄弟！青春永驻？行！延寿不行! (第1/3页)

庐州，星源科技总部。

洁净室入口的空气锁在发出低沉的「嘶啦」声，待气压平衡後，厚重的玻璃门缓缓向两侧滑开。

所有人都换上了全套无尘服，陈延森第一个跨进去，身後跟着梁劲松、林南、汪象朝，以及两名高级光学工程师。

甭管设备出什麽问题，厂家都得开出高价、包往返机票与住宿，才能享受到合同约定的检修服务。

敢私自拆机？

合同立刻终止！

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